发明授权
EP0242574B1 Verfahren zum Herstellen eines passiven optischen Bauelements mit einem oder mehreren Echelette-Gittern und nach diesem Verfahren hergestelltes Bauelement
失效
具有一个或多个ECHELETTE-GRATINGS的光学部件的制造程序以及所获得的器件
- 专利标题： Verfahren zum Herstellen eines passiven optischen Bauelements mit einem oder mehreren Echelette-Gittern und nach diesem Verfahren hergestelltes Bauelement
- 专利标题（英）： Procedure for the manufacture of an optical component having one or more echelette-gratings and device thereby obtained
- 专利标题（中）： 具有一个或多个ECHELETTE-GRATINGS的光学部件的制造程序以及所获得的器件
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申请号： EP87103592.9申请日： 1987-03-12
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公开(公告)号： EP0242574B1公开(公告)日： 1991-07-24
- 发明人: Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr.
- 申请人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
- 申请人地址： Postfach 36 40 D-76050 Karlsruhe DE
- 专利权人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
- 当前专利权人： KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
- 当前专利权人地址： Postfach 36 40 D-76050 Karlsruhe DE
- 优先权： DE3611246 19860404
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G01J3/20 ; G02B5/18 ; G02B6/34
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