Beim Zersägen von stabförmigen Werkstücken wie z.B. Halbleiterstäben in dünne Scheiben insbesondere mittels Innenlochsäge werden häufig Sägehilfsmittel wie z.B. Schneidleisten an den Stäben fixiert. Erfindungsgemäß lassen sich die nach dem Sägevorgang an den erhaltenen Scheiben verbleibenden Reste solcher Sägehilfsmittel besonders günstig mit Hilfe von wäßrigen Carbonsäurelösungen, insbesondere wäßriger Ameisensäure entfernen.