发明授权
- 专利标题： Oscillating quartz atomic force microscope
- 专利标题（中）： 振荡微粒原子力显微镜
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申请号： EP87106899.5申请日： 1987-05-12
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公开(公告)号： EP0290647B1公开(公告)日： 1991-07-24
- 发明人: Pohl, Wolfgang Dieter, Dr.
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Rudack, Günter O., Dipl.-Ing.
- 主分类号： G01L1/08
- IPC分类号： G01L1/08 ; G01L1/16
公开/授权文献
- EP0290647A1 Oscillating quartz atomic force microscope 公开/授权日：1988-11-17
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