发明授权
EP0343355B1 Method of creating a high flux of activated species for reaction with a remotely located substrate
失效
一种生产用于与位于远程的底物反应活性颗粒的高流动性的方法。
- 专利标题： Method of creating a high flux of activated species for reaction with a remotely located substrate
- 专利标题（中）： 一种生产用于与位于远程的底物反应活性颗粒的高流动性的方法。
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申请号： EP89106375.2申请日： 1989-04-11
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公开(公告)号： EP0343355B1公开(公告)日： 1993-12-15
- 发明人: Doehler, Joachim , Hudgens, Stephen , Ovshinsky, Stanford , Dotter II, Buddy , Peedin, Lester , Krisko, Jeffrey , Krisko, Annette
- 申请人： ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.
- 申请人地址： 1675 West Maple Road Troy Michigan 48084 US
- 专利权人： ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.
- 当前专利权人： ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.
- 当前专利权人地址： 1675 West Maple Road Troy Michigan 48084 US
- 代理机构： Müller, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing.
- 优先权： US199062 19880526
- 主分类号： C23C16/30
- IPC分类号： C23C16/30 ; H01L21/205
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