发明授权
- 专利标题： Process for purifying nitrogen trifluoride gas
- 专利标题（中）： 净化三氟化硼气体的工艺
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申请号： EP89109439.3申请日： 1989-05-24
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公开(公告)号： EP0344612B1公开(公告)日： 1993-03-17
- 发明人: Koto, Nobuhiko , Nishitsuji, Toshihiko , Iwanaga, Naruyuki , Harada, Isao
- 申请人： MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc.
- 申请人地址： 2-5 Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-Ku Tokyo 100 JP
- 专利权人： MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc.
- 当前专利权人： MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc.
- 当前专利权人地址： 2-5 Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-Ku Tokyo 100 JP
- 代理机构： Schüler, Horst, Dr.
- 优先权： JP135061/88 19880601
- 主分类号： C01B21/083
- IPC分类号： C01B21/083
公开/授权文献
- EP0344612A3 Process for purifying nitrogen trifluoride gas 公开/授权日：1990-05-30
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