发明授权
- 专利标题： Exposure apparatus and control of the same
- 专利标题（中）： 曝光装置及其控制
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申请号： EP89308998.7申请日： 1989-09-06
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公开(公告)号： EP0358467B1公开(公告)日： 1996-02-07
- 发明人: Kawakami, Eigo , Ozawa, Kunitaka , Uda, Koji , Shimoda, Isamu , Uzawa, Shunichi
- 申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 3-30-2 Shimomaruko Ohta-ku Tokyo 146 JP
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 3-30-2 Shimomaruko Ohta-ku Tokyo 146 JP
- 代理机构： Beresford, Keith Denis Lewis
- 优先权： JP224711/88 19880909
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G03F9/00 ; H01L21/00
公开/授权文献
- EP0358467A3 Exposure apparatus and control of the same 公开/授权日：1990-10-03
信息查询
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