发明公开
EP0371924A3 Verfahren zur Herstellung eines Musters 失效
制作图案的过程

Verfahren zur Herstellung eines Musters
摘要:
Ein Verfahren zur Herstellung eines Musters aus einem elektrisch leitfähigen Material, gekennzeichnet durch
(i) galvanisches Abscheiden eines Filmes enthaltend ein photohärtbares organisches Harz auf eine elektrisch leitende Oberfläche, (ii) Ausbilden eines vorbestimmten Musters eines Resists auf dem galvanisch abgeschiedenen Film, welches beim Belichten mit aktinischen Strahlen mit den darunterliegenden Bereichen des galvanisch abgeschiedenen Filmes zusammengehärtet wird, und wobei vorbestimmte Bereiche des galvanisch abgeschiedenen Filmes vom Resist unbedeckt bleiben. (iii) Entfernen der unbedeckten Bereiche des galvanisch abgeschiedenen Filmes durch Behandeln mit einem Lösungsmittel dafür, wobei eine Oberfläche entsteht, die in vorbestimmten Bereichen freiliegendes leitfähiges Material aufweist und in anderen vorbestimmten Bereichen den photogehärteten Resist enthält, der durch den dazwischenliegenden, in bestimmten Bereichen galvanisch abgeschiedenen Film fest mit dem leitfähigen Material verbunden ist. Das Verfahren ist zur Herstellung von gedruckten Schaltungen geeignet.
公开/授权文献
信息查询
0/0