发明公开
EP0396660A4 METHOD AND APPARATUS FOR SENSING DEFECTS IN INTEGRATED CIRCUIT ELEMENTS
失效
用于感应综合电路元件缺陷的方法和装置
- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR SENSING DEFECTS IN INTEGRATED CIRCUIT ELEMENTS
- 专利标题（中）： 用于感应综合电路元件缺陷的方法和装置
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申请号： EP89910250申请日： 1989-09-06
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公开(公告)号： EP0396660A4公开(公告)日： 1992-08-05
- 发明人: GHEEWALA, TUSHAR, R.
- 申请人： CROSS-CHECK SYSTEMS, INC.
- 申请人地址： 2099 GATEWAY PLACE 420; SAN JOSE, CA 95110
- 专利权人： CROSS-CHECK SYSTEMS, INC.
- 当前专利权人： CROSS-CHECK SYSTEMS, INC.
- 当前专利权人地址： 2099 GATEWAY PLACE 420; SAN JOSE, CA 95110
- 优先权： US24284888 1988-09-09
- 主分类号： G01R31/26
- IPC分类号： G01R31/26 ; G01R31/30 ; G01R31/316 ; G01R31/317 ; G01R31/3185 ; G06F11/22 ; H01L21/66 ; G06F11/00
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