发明授权
EP0414205B1 Methods of manufacturing thin film superconductors and superconductor devices
失效
一种用于薄膜超导体和超导器件的制造过程
- 专利标题： Methods of manufacturing thin film superconductors and superconductor devices
- 专利标题（中）： 一种用于薄膜超导体和超导器件的制造过程
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申请号： EP90115988.9申请日： 1990-08-21
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公开(公告)号： EP0414205B1公开(公告)日： 1996-11-27
- 发明人: Kohiki, Shigemi , Enokihara, Akira , Higashino, Hidetaka , Hatta, Shinichiro , Setsune, Kentaro , Wasa, Kiyotaka , Kamada, Takeshi , Hayashi, Shigenori
- 申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
- 申请人地址： 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka-fu, 571 JP
- 专利权人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
- 当前专利权人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
- 当前专利权人地址： 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka-fu, 571 JP
- 代理机构： Eisenführ, Speiser & Partner
- 优先权： JP214496/89 19890821; JP214498/89 19890821; JP99702/90 19900416; JP99704/90 19900416; JP101301/90 19900417; JP143104/90 19900531
- 主分类号： H01L39/24
- IPC分类号： H01L39/24 ; H01L39/22
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