发明授权
EP0459047B1 Electron-optical system for making a pseudoparallel micro electron-beam
失效
用于产生伪并行电子束具有小射束横截面的电子光学系统。
- 专利标题： Electron-optical system for making a pseudoparallel micro electron-beam
- 专利标题（中）： 用于产生伪并行电子束具有小射束横截面的电子光学系统。
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申请号： EP90305987.1申请日： 1990-06-01
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公开(公告)号： EP0459047B1公开(公告)日： 1995-03-29
- 发明人: Hayashi, Shigeki
- 申请人： SHIMADZU CORPORATION
- 申请人地址： 1 Kuwabara-cho Nishinokyo Nakakyo-ku Kyoto 604 JP
- 专利权人： SHIMADZU CORPORATION
- 当前专利权人： SHIMADZU CORPORATION
- 当前专利权人地址： 1 Kuwabara-cho Nishinokyo Nakakyo-ku Kyoto 604 JP
- 代理机构： Smith, Philip Antony
- 主分类号： H01J37/141
- IPC分类号： H01J37/141 ; H01J37/04 ; H01J37/28
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