发明公开
- 专利标题: Vorrichtung zum optischen Messen einer Druckdifferenz
- 专利标题(英): Device for optical measurement of pressure differences
- 专利标题(中): 一种用于光学测量的压力差装置。
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申请号: EP91102912.2申请日: 1991-02-28
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公开(公告)号: EP0460357A2公开(公告)日: 1991-12-11
- 发明人: Beat, Hälg
- 申请人: Landis & Gyr Business Support AG
- 申请人地址: CH-6301 Zug CH
- 专利权人: Landis & Gyr Business Support AG
- 当前专利权人: Landis & Gyr Business Support AG
- 当前专利权人地址: CH-6301 Zug CH
- 代理机构: Müller, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing.
- 优先权: CH1928/90 19900608
- 主分类号: G01L9/00
- IPC分类号: G01L9/00
摘要:
Eine Vorrichtung zum optischen Messen einer Druckdifferenz (δp) in einem Medium (14; 14'; 15) mittels eines Fabry-Perot-Interferometers (9) weist eine transparente planparallele Platte (1) mit einem ersten Spiegel (7) und einen auf einer Messmembran (4) angeordneten zweiten Spiegel (8) auf, der senkrecht zur Spiegelebene in der optischen Achse (10) bewegbar ist, wobei die Druckdifferenz über der Messmembran (4) einen Membranhub bewirkt. Um mechanische Restspannungen in der Messmembran (4) zu vermeiden, wird die Trägerplatte (2) im Bereich der Messmembran (4) auf eine vorbestimmte Dicke verringert. Das Material der Trägerplatte (2) geht ringsum nahtlos in das Material der von der Trägerplatte (2) aufgespannten Messmembran (4) über.
公开/授权文献
- EP0460357A3 Vorrichtung zum optischen Messen einer Druckdifferenz 公开/授权日:1992-07-29
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