发明公开
EP0460357A2 Vorrichtung zum optischen Messen einer Druckdifferenz 失效
一种用于光学测量的压力差装置。

Vorrichtung zum optischen Messen einer Druckdifferenz
摘要:
Eine Vorrichtung zum optischen Messen einer Druckdifferenz (δp) in einem Medium (14; 14'; 15) mittels eines Fabry-Perot-Interferometers (9) weist eine transparente planparallele Platte (1) mit einem ersten Spiegel (7) und einen auf einer Messmembran (4) angeordneten zweiten Spiegel (8) auf, der senkrecht zur Spiegelebene in der optischen Achse (10) bewegbar ist, wobei die Druckdifferenz über der Messmembran (4) einen Membranhub bewirkt. Um mechanische Restspannungen in der Messmembran (4) zu vermeiden, wird die Trägerplatte (2) im Bereich der Messmembran (4) auf eine vorbestimmte Dicke verringert. Das Material der Trägerplatte (2) geht ringsum nahtlos in das Material der von der Trägerplatte (2) aufgespannten Messmembran (4) über.
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