发明授权
- 专利标题： METALLORGANISCHE ADDUKTVERBINDUNGEN
- 专利标题（英）： Metallo-organic adduct compounds
- 专利标题（中）： 有机金属加成物的化合物。
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申请号： EP90903825.9申请日： 1990-03-03
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公开(公告)号： EP0462135B1公开(公告)日： 1994-09-07
- 发明人: HOSTALEK, Martin , LOKAI, Matthias , POHL, Ludwig
- 申请人： MERCK PATENT GmbH
- 申请人地址： Postfach, Frankfurter Strasse 250 D-64271 Darmstadt DE
- 专利权人： MERCK PATENT GmbH
- 当前专利权人： MERCK PATENT GmbH
- 当前专利权人地址： Postfach, Frankfurter Strasse 250 D-64271 Darmstadt DE
- 优先权： DE3907581 19890309
- 国际公布： WO9010727 19900920
- 主分类号： C23C16/30
- IPC分类号： C23C16/30 ; C30B25/02 ; C30B29/40 ; C07F5/00 ; C07F5/06 ; C07F9/70 ; C07F9/90
摘要：
The invention concerns the use of stabilized metallo-organic adduct compounds for producing thin films and epitactic coatings by vapour deposition.
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