公开(公告)号：EP0462135B1

公开(公告)日：1994-09-07

申请号：EP90903825.9

申请日：1990-03-03

申请人： MERCK PATENT GmbH

发明人： HOSTALEK, Martin ,  LOKAI, Matthias ,  POHL, Ludwig

IPC分类号： C23C16/30 ,  C30B25/02 ,  C30B29/40 ,  C07F5/00 ,  C07F5/06 ,  C07F9/70 ,  C07F9/90

CPC分类号： C30B25/02 ,  C07F5/00 ,  C07F5/062 ,  C07F9/5045 ,  C07F9/703 ,  C07F9/904 ,  C23C16/301 ,  C30B29/40 ,  C30B29/42

摘要： The invention concerns the use of stabilized metallo-organic adduct compounds for producing thin films and epitactic coatings by vapour deposition.

公开(公告)号：EP0462135A1

公开(公告)日：1991-12-27

申请号：EP90903825.0

申请日：1990-03-03

申请人： MERCK PATENT GmbH

发明人： HOSTALEK, Martin ,  LOKAI, Matthias ,  POHL, Ludwig

IPC分类号： C07F5 ,  C07F9 ,  C23C16 ,  C30B25 ,  C30B29

CPC分类号： C30B25/02 ,  C07F5/00 ,  C07F5/062 ,  C07F9/5045 ,  C07F9/703 ,  C07F9/904 ,  C23C16/301 ,  C30B29/40 ,  C30B29/42

摘要： Utilisation de produits d'addition organo-métalliques stabilisés pour fabriquer des couches minces et épitaxiales par déposition en phase gazeuse.