发明授权
EP0542210B1 Verfahren zur Herstellung eines optischen Dünnschicht-Wellenleiters aus TiO2
失效
一种用于制造二氧化钛的光学薄膜波导的方法。
- 专利标题： Verfahren zur Herstellung eines optischen Dünnschicht-Wellenleiters aus TiO2
- 专利标题（英）： Method of making an optical thin film waveguide of TiO2
- 专利标题（中）： 一种用于制造二氧化钛的光学薄膜波导的方法。
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申请号： EP92119239.9申请日： 1992-11-11
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公开(公告)号： EP0542210B1公开(公告)日： 1995-10-04
- 发明人: Heming, Martin, Dr. , Hochhaus, Roland , Otto, Jürgen, Dr. , Paquet, Volker
- 申请人： Schott Glaswerke , CARL-ZEISS-STIFTUNG
- 申请人地址： Hattenbergstrasse 10 55122 Mainz DE
- 专利权人： Schott Glaswerke,CARL-ZEISS-STIFTUNG
- 当前专利权人： Schott Glaswerke,CARL-ZEISS-STIFTUNG
- 当前专利权人地址： Hattenbergstrasse 10 55122 Mainz DE
- 优先权： DE4137606 19911115
- 主分类号： G02B6/12
- IPC分类号： G02B6/12 ; C23C16/50
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