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公开(公告)号：EP0718418A1
公开(公告)日：1996-06-26
申请号：EP95114298.3
申请日：1995-09-12
CPC分类号： C08J7/123 , C23C16/029 , C23C16/401 , C23C16/515 , C23C16/52 , G02B1/105 , G02B1/14
摘要： Die Erfindung betrifft ein Plasma CVD-Verfahren zur Herstellung einer Gradientenschicht, bei welchem der Schichtgradient in Schichtwachstumsrichtung durch Änderung wenigstens eines Plasmaleistungsparameters währens des Beschichtungsprozesses erzeugt wird. Gemäß der Erfindung werden dünne Gradientenschichten mit hoher Ortsauflösung dadurch erzeugt, daß die Plasmaleistung gepulst zugeführt wird und der Schichtgradient durch Änderung der Plasmaleistungsparameter Impulshöhe, Impulsdauer und/oder Impulspause eingestellt wird.
摘要翻译： 本发明涉及一种等离子CVD工艺制造的梯度层，其中，在膜生长的通过修改至少一个等离子体功率参数的方向上的层梯度Waehrens产生涂覆工艺。 据具有高空间分辨率的本发明薄梯度层产生，其特征在于所述等离子体功率在脉冲供给与层梯度通过改变脉冲幅度，脉冲宽度和/或脉冲间周期的等离子体功率参数进行设置。
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公开(公告)号：EP0718418B1
公开(公告)日：1998-01-14
申请号：EP95114298.3
申请日：1995-09-12
CPC分类号： C08J7/123 , C23C16/029 , C23C16/401 , C23C16/515 , C23C16/52 , G02B1/105 , G02B1/14
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3.发明公开Optischer Wellenleiter mit einem im wesentlichen planaren Substrat und Verfahren zu dessen Herstellung 失效光波导具有用于生产它们的基本上平面的基底和方法。
公开(公告)号：EP0533074A1
公开(公告)日：1993-03-24
申请号：EP92115622.0
申请日：1992-09-12
发明人： Heming, Martin, Dr. , Hochhaus, Roland , Kersten, Ralf, Prof. Dr. , Krause, Dieter, Prof. Dr. , Otto, Jürgen, Dr. , Paquet, Volker , Segner, Johannes, Dr. , Fattinger, Christof
IPC分类号： G02B6/12
CPC分类号： G02B6/13 , G02B6/1221 , G02B6/124
摘要： Es wird ein optischer Wellenleiter mit einem im wesentlichen planaren Substrat und einer auf dem Substrat aufgebrachten wellenleitenden Schicht beschrieben. Die Erfindung besteht darin, daß das Substrat aus Kunststoff oder aus einem Material mit hohem organischen Anteil besteht. Dies hat den Vorteil, daß die hohe Brechzahl der anorganischen wellenleitenden Schicht mit den Materialeigenschaften des Kunststoffsubstrats, wie z.B. Bruchfestigkeit, plastische und thermoplastische Verformbarkeit, photochemische Strukturierbarkeit, u.a., kombiniert sind.
摘要翻译： 描述了一种具有以基本平坦的基板并施加于基板的波导层的光波导。 在与有机物质的比例高的塑料或材料由...组成的基材本发明besteht。 这具有的优点做了无机导波层的高折射率与塑料基板，彩色的材料性质组合：如，例如，耐破坏性，塑料和热塑性可变形性，光化学结构化的能力，等等。
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4.发明授权Verfahren zur Herstellung eines optischen Dünnschicht-Wellenleiters aus TiO2 失效一种用于制造二氧化钛的光学薄膜波导的方法。
公开(公告)号：EP0542210B1
公开(公告)日：1995-10-04
申请号：EP92119239.9
申请日：1992-11-11
CPC分类号： C23C16/405 , C23C16/511 , G02B6/132
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5.发明公开Verfahren zur Herstellung eines optischen Dünnschicht-Wellenleiters aus TiO2 失效一种用于制造二氧化钛的光学薄膜波导的方法。
公开(公告)号：EP0542210A1
公开(公告)日：1993-05-19
申请号：EP92119239.9
申请日：1992-11-11
CPC分类号： C23C16/405 , C23C16/511 , G02B6/132
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Dünnschichtwellenleiters aus TiO₂ mit einer Dämpfung von
摘要翻译： 一种用于制造二氧化钛的光学薄膜波导与<5 dB的衰减方法的平面无机基材，其特征在于，产生通过微波等离子CVD工艺（PCVD）的装置中的薄膜波导描述。
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6.发明授权Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters mit einem im wesentlichen planaren Substrat 失效一种用于制造具有基本平面的基底的光波导过程
公开(公告)号：EP0533074B1
公开(公告)日：1999-03-24
申请号：EP92115622.0
申请日：1992-09-12
发明人： Heming, Martin, Dr. , Hochhaus, Roland , Kersten, Ralf, Prof. Dr. , Krause, Dieter, Prof. Dr. , Otto, Jürgen, Dr. , Paquet, Volker , Segner, Johannes, Dr. , Fattinger, Christof
IPC分类号： G02B6/12
CPC分类号： G02B6/13 , G02B6/1221 , G02B6/124
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7.发明公开
公开(公告)号：EP0622647A3
公开(公告)日：1994-12-07
申请号：EP94109950.9
申请日：1992-09-12
发明人： Heming, Martin, Dr. , Hochhaus, Roland , Kersten, Ralf, Prof.Dr. , Krause, Dieter, Prof.Dr. , Otto, Jürgen, Dr. , Paquet, Volker , Segner, Johannes, Dr. , Fattinger, Christof, Dr.
IPC分类号： G02B6/12
CPC分类号： G02B6/13 , G02B6/1221 , G02B6/124
摘要： Es wird ein optischer Wellenleiter mit einem im wesentlichen planaren Substrat und einer auf dem Substrat aufgebrachten wellenleitenden Schicht beschrieben. Die Erfindung besteht darin, daß das Substrat aus Kunststoff oder aus einem Material mit hohem organischen Anteil besteht. Dies hat den Vorteil, daß die hohe Brechzahl der anorganischen wellenleitenden Schicht mit den Materialeigenschaften des Kunststoffsubstrats, wie z.B. Bruchfestigkeit, plastische und thermoplastische Verformbarkeit, photochemische Strukturierbarkeit, u.a., kombiniert sind.
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8.发明公开
公开(公告)号：EP0622647A2
公开(公告)日：1994-11-02
申请号：EP94109950.9
申请日：1992-09-12
发明人： Heming, Martin, Dr. , Hochhaus, Roland , Kersten, Ralf, Prof.Dr. , Krause, Dieter, Prof.Dr. , Otto, Jürgen, Dr. , Paquet, Volker , Segner, Johannes, Dr. , Fattinger, Christof, Dr.
IPC分类号： G02B6/12
CPC分类号： G02B6/13 , G02B6/1221 , G02B6/124
摘要： Es wird ein optischer Wellenleiter mit einem im wesentlichen planaren Substrat und einer auf dem Substrat aufgebrachten wellenleitenden Schicht beschrieben. Die Erfindung besteht darin, daß das Substrat aus Kunststoff oder aus einem Material mit hohem organischen Anteil besteht. Dies hat den Vorteil, daß die hohe Brechzahl der anorganischen wellenleitenden Schicht mit den Materialeigenschaften des Kunststoffsubstrats, wie z.B. Bruchfestigkeit, plastische und thermoplastische Verformbarkeit, photochemische Strukturierbarkeit, u.a., kombiniert sind.
摘要翻译： 一种光波导，描述了具有基本平坦的基底和施加到所述基底波导层。 在DASS模具基板本发明besteht由塑料或从具有大的有机成分的材料制成。 这具有的优点做了无机波导层的高折射率与塑料基材的材料性质，颜色组合：如对于实施例的耐断裂性，塑料和热塑性变形性，光化学可结构等。
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