发明授权
EP0555544B1 Method and apparatus for process control of material emitting radiation
失效
用于辐射发射材料的过程控制方法和装置
- 专利标题： Method and apparatus for process control of material emitting radiation
- 专利标题（中）： 用于辐射发射材料的过程控制方法和装置
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申请号： EP92121157.9申请日： 1992-12-11
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公开(公告)号： EP0555544B1公开(公告)日： 1996-03-20
- 发明人: Marui, Tomohiro , Arai, Kazuo
- 申请人： KAWASAKI STEEL CORPORATION
- 申请人地址： 1-28, Kitahonmachidori 1-chome Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 651 JP
- 专利权人： KAWASAKI STEEL CORPORATION
- 当前专利权人： KAWASAKI STEEL CORPORATION
- 当前专利权人地址： 1-28, Kitahonmachidori 1-chome Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 651 JP
- 代理机构： Stebbing, Timothy Charles
- 优先权： JP330958/91 19911213; JP352797/91 19911216
- 主分类号： G01B11/06
- IPC分类号： G01B11/06 ; G01J5/00 ; G01J5/60
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