发明授权
- 专利标题: Vacuum gate valve
- 专利标题(中): 真空锁
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申请号: EP92303288.2申请日: 1992-04-13
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公开(公告)号: EP0565786B1公开(公告)日: 1998-03-25
- 发明人: Funaba, Kazutoshi, c/o The Japan Steel Works, Ltd.
- 申请人: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD.
- 申请人地址: 12-1, Yurakucho-1-chome, Chiyoda-ku Tokyo JP
- 专利权人: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD.
- 当前专利权人: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD.
- 当前专利权人地址: 12-1, Yurakucho-1-chome, Chiyoda-ku Tokyo JP
- 代理机构: Brunner, Michael John
- 主分类号: F16K51/02
- IPC分类号: F16K51/02 ; F16K41/10 ; B01J3/03 ; C23C14/56 ; F16K3/12
公开/授权文献
- EP0565786A1 Vacuum gate valve 公开/授权日:1993-10-20
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