发明授权
- 专利标题： Discharge reactor
- 专利标题（中）： 放电反应器
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申请号： EP93106543.7申请日： 1993-04-22
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公开(公告)号： EP0567114B1公开(公告)日： 1997-07-09
- 发明人: Kamiya, Ichiro , Shinjo, Ryoichi , Murakami, Takeshi, Ebaraseisakusho Hiyoshiryo , Nishioka, Yukiko , Harada, Minoru
- 申请人： EBARA CORPORATION
- 申请人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo JP
- 专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo JP
- 代理机构： Nöth, Heinz, Dipl.-Phys.
- 优先权： JP130168/92 19920423; JP130171/92 19920423
- 主分类号： C01B13/11
- IPC分类号： C01B13/11
公开/授权文献
- EP0567114A3 Discharge reactor 公开/授权日：1994-09-28
信息查询
