发明授权
EP0574113B1 Process and apparatus for treating copper chloride etching waste liquor
失效
用于处理含有氯化铜蚀刻液的方法和设备
- 专利标题： Process and apparatus for treating copper chloride etching waste liquor
- 专利标题（中）： 用于处理含有氯化铜蚀刻液的方法和设备
-
申请号： EP93302202.2申请日： 1993-03-23
-
公开(公告)号： EP0574113B1公开(公告)日： 1997-05-21
- 发明人: Uchida, Tatsuya , Suemitsu, Toshio , Hiratsuka, Tsugihiko , Sakai, Kango
- 申请人： HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. , HITACHI CHEMICAL TECHNO-PLANT CORPORATION, LTD. , CHEMIRITE, LTD.
- 申请人地址： 1-1, 2-chome, Nishishinjuku Shinjuku-ku Tokyo 163 JP
- 专利权人： HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.,HITACHI CHEMICAL TECHNO-PLANT CORPORATION, LTD.,CHEMIRITE, LTD.
- 当前专利权人： HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.,HITACHI CHEMICAL TECHNO-PLANT CORPORATION, LTD.,CHEMIRITE, LTD.
- 当前专利权人地址： 1-1, 2-chome, Nishishinjuku Shinjuku-ku Tokyo 163 JP
- 代理机构： Rickard, Timothy Mark Adrian
- 优先权： JP141449/92 19920602
- 主分类号： C01G3/02
- IPC分类号： C01G3/02
公开/授权文献
信息查询
IPC分类:
