发明公开
- 专利标题: TASTELEMENT FUR KOORDINATENMESSSYSTEME
- 专利标题(英): Probe element for coordinate measurement systems
- 专利标题(中): TASTELEMENT FUR KOORDINATENMESSSYSTEME。
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申请号: EP94903857.0申请日: 1993-12-21
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公开(公告)号: EP0627068A1公开(公告)日: 1994-12-07
- 发明人: BARTZKE, Karlheinz , SEYDEL, Eberhard , ANTRACK, Torsten
- 申请人: VEB Carl Zeiss Jena
- 申请人地址: Tatzendpromenade 1a D-07740 Jena DE
- 专利权人: VEB Carl Zeiss Jena
- 当前专利权人: VEB Carl Zeiss Jena
- 当前专利权人地址: Tatzendpromenade 1a D-07740 Jena DE
- 代理机构: Geyer, Werner, et al
- 优先权: DE19924243284 19921221
- 国际公布: WO1994015171 19940707
- 主分类号: G01B7
- IPC分类号: G01B7
摘要:
Dans un élément palpeur pour systèmes de mesure de coordonnés qui fonctionne à l'aide de micro-éléments palpeurs (2) et de piézo-résonateurs (3, 4, 5) dont les propriétés de résonance se modifient dès qu'on les touche, l'élément palpeur se compose de piézo-résonateurs (3, 4, 5) disposés en polygone. Des micro-éléments palpeurs (2) qui détectent des surfaces intérieures et extérieures dans différentes coordonnées, sont appliqués dessus, en polygone. La mesure de la modification des propriétés de résonance des piézo-résonateurs (3, 4, 5) permet de détecter le contact opéré entre les micro-éléments palpeurs (2) et la surface de l'échantillon.
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