-
公开(公告)号：EP0051567B1
公开(公告)日：1987-03-25
申请号：EP81810440.8
申请日：1981-11-03
IPC分类号： G03B41/00
CPC分类号： G03F9/7088
-
2.发明公开Anordnung zur Veränderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten 失效Anordnung zurVeränderungder Salzkonzentration vonFlüssigkeiten。
公开(公告)号：EP0065489A1
公开(公告)日：1982-11-24
申请号：EP82810215.2
申请日：1982-05-19
IPC分类号： C02F1/48
CPC分类号： C02F1/48 , C02F1/469 , C02F2201/48
摘要： Bei einer Anordnung zur Veränderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten sollen die Wirtschaftlichkeit, die Anwendungsbreite und die Auswirkungen auf die Umweltbedingungen erhöht werden. Aus diesem Grunde ist mit möglichst einfachen Mitteln ohne ionenaustausch eine energiesparende, umweltschonende und technisch gut beherrschbare Anordnung zur Änderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten in grossen Konzentrationsbereichen zu schaffen. Erfindungsgemäss wird durch die gleichzeitige Einwirkung eines stationären elektrischen und eines stationären magnetischen Feldes auf die Flüssigkeit eine lonenbewegung unter Verhinderung von lonenkombinationen hervorgerufen. Eine gezielte lonenbewegung führt zu lokalen Zonen unterschiedlicher lonenkonzentration und -polarität, aus denen die Flüssigkeitsvolumina entnehmbar sind.
摘要翻译： 在改变液体盐浓度的布置中，期望经济性，应用范围和对环境条件的影响增加。 为此，本发明旨在产生一种节能，环保和技术上易于控制的布置，以非常简单的方式在没有离子交换和无电解沉积的情况下，以广泛的浓度范围改变液体的盐浓度。 根据本发明，固定电磁场和固定磁场对液体的同时作用导致离子迁移，同时防止离子复合。 选择性离子迁移导致不同离子浓度和极性的局部区域，液体的体积可以从该离子浓度和极性被去除。
-
公开(公告)号：EP0043351A3
公开(公告)日：1982-10-06
申请号：EP81810263
申请日：1981-06-26
CPC分类号： G21K1/087 , B23K15/0013 , H01J37/045 , H01J37/1477
摘要： Ein elektrostatisches Ablenksystem für Korpuskular strahlen, bei dem einander gegenüberliegende Elektroden (5,6) mit einstellbaren Potentialen zur Ablenkung benutzt werden. Zur Erhöhung der Produktivität von Korpuskular strahlgeräten besteht die Aufgabe, einen sich bewegenden Korpuskularstrahl über seinen gesamten Schwenkbereich oder viele nebeneinanderliegende statische Korpuskular strahlen gleichzeitig zu steuern. Das wird dadurch erreicht, daß eine Vielzahl von Elektroden (5,6) auf mindestens einem Paar einander gegenüberliegender, im wesentlichen gleich gerichteter Flächen (3,4) jeweils in einer Reihe nebeneinan der liegend angeordnet sind. Jede Elektrode wenigstens einer der beiden Flächen eines Paares weist eine eigene Potentialzuführung (15, 16) auf. Die dem Korpuskularstrahl zugewandten Flächenteile zwischen den Elektroden sind elektrisch leitend.
-
公开(公告)号：EP0627068A1
公开(公告)日：1994-12-07
申请号：EP94903857.0
申请日：1993-12-21
申请人： VEB Carl Zeiss Jena
IPC分类号： G01B7
CPC分类号： G01B7/012
摘要： Dans un élément palpeur pour systèmes de mesure de coordonnés qui fonctionne à l'aide de micro-éléments palpeurs (2) et de piézo-résonateurs (3, 4, 5) dont les propriétés de résonance se modifient dès qu'on les touche, l'élément palpeur se compose de piézo-résonateurs (3, 4, 5) disposés en polygone. Des micro-éléments palpeurs (2) qui détectent des surfaces intérieures et extérieures dans différentes coordonnées, sont appliqués dessus, en polygone. La mesure de la modification des propriétés de résonance des piézo-résonateurs (3, 4, 5) permet de détecter le contact opéré entre les micro-éléments palpeurs (2) et la surface de l'échantillon.
-
5.发明公开Anordnung zur Veränderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten 失效Anordnung zurVeränderungder Salzkonzentration vonFlüssigkeiten。
公开(公告)号：EP0065490A1
公开(公告)日：1982-11-24
申请号：EP82810216.0
申请日：1982-05-19
IPC分类号： C02F1/48
CPC分类号： C02F1/48 , C02F1/469 , C02F2201/48
摘要： Bei einer Anordnung zur Veränderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten sollen die Wirtschaftlichkeit, die Anwendungsbreite und die Auswirkungen auf die Umweltbedingungen erhöht werden. Aus diesem Grund ist mit möglichst einfachen Mitteln ohne lonenaustausch und ohne elektrolytische Abscheidung eine energiesparende, umweltfreundliche sowie technisch gut beherrschbare Anordnung zur Änderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten in grossen Konzentrationsbereichen zu schaffen. Erfindungsgemäss wird durch die gleichzeitige Einwirkung eines magnetischen und eines elektrischen Wechselfeldes auf die Flüssigkeit eine lonenbewegung unter Verhinderung von lonenrekombinationen hervorgerufen. Eine gezielte lonenbewegung führt zu lokalen Zonen unterschiedlicher lonenkonzentration und -polarität, aus denen die Flüssigkeitsvolumina entnehmbar sind. Die Umrichtung der Wechselfelder verhindert eine elektrolytische Abscheidung, insbesondere von abscheidbaren Metallen, an den Elektroden.
摘要翻译： 在改变液体盐浓度的布置中，期望经济性，应用范围和对环境条件的影响增加。 为此，本发明旨在产生一种节能，环保和技术上易于控制的布置，以非常简单的方式在没有离子交换和无电解沉积的情况下，以广泛的浓度范围改变液体的盐浓度。 根据本发明，磁和电交变场对液体的同时作用导致离子迁移，同时防止离子复合。 选择性离子迁移导致不同离子浓度和极性的局部区域，液体的体积可以从该离子浓度和极性被去除。 交变场的极性变化防止电极上的电解沉积，特别是可沉积的金属。
-
公开(公告)号：EP0028585A1
公开(公告)日：1981-05-13
申请号：EP80810330.3
申请日：1980-10-31
发明人： Hahn, Eberhard, Dr.
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J2237/043 , H01J2237/31777
摘要： Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung offenbart, die beliebige Muster ohne Verzögerungszeit und mit hoher Genauigkeit auf ein Target abzubilden gestatten. Dazu wird dem Korpuskularstrahlbenbündel ein zusätzliches über seinen gesamten Querschnitt partiell differenziertes elektromagnetisches Feld aufgeprägt, das das Korpuskularstrahlenbündel hinsichtlich seiner Intensität strukturiert. Als Mittel zur Erzeugung eines in sich strukturierten Feldes dienen linien-oder flächenförmig ausgebildete Elektrodenraster, von denen jede Elektrode eine unterschiedliche Ladung erhalten kann und die das jeweilige Strahlenbündel reflektierend oder streifend beeinflussen.
摘要翻译： 中，公开的方法和装置来映射图案而没有任何时间延迟且高精度地到目标允许。 为了这个目的，印象在Korpuskularstrahlbenbündel一个附加在其整个横截面部分地分化的电磁场，该电磁场结构Korpuskularstrahlenbündel在其强度方面。 作为用于生成结构化的场的装置是在线或面状的栅格电极，每个电极可以接收不同的电荷和对光线反射或漫游服务的相应波束的影响。
-
公开(公告)号：EP0028585B1
公开(公告)日：1985-02-27
申请号：EP80810330.3
申请日：1980-10-31
发明人： Hahn, Eberhard, Dr.
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J2237/043 , H01J2237/31777
-
公开(公告)号：EP0051567A1
公开(公告)日：1982-05-12
申请号：EP81810440.8
申请日：1981-11-03
IPC分类号： G03B41/00
CPC分类号： G03F9/7088
摘要： Es werden eine Halbleiterscheibe und eine Schablone gegenüber einem lichtelektrischen Mess- und Abtastsystem und der beiden Gegenstände zueiander bei der schrittweisen Projektionslithografie für die Herstellung von Halbleiterstrukturen justiert. Es wird eine hochgenaue, dabei schnellstmögliche Justierung der beiden Gegenstände unter wahlweiser Benutzung der zur Zeit üblichen unterschiedlichen Justiermarken sowohl nach den dadurch beeinflusten Lichtströmen als auch nach ihrer Struktur ermöglicht.
Mittels eines optischen Abbildungssystems (10, 11, 12) wird ein Bild der Justiermarken 4, 5, 7, 8) beider Gegenstände (1,2) in der Abtastebene eines lichtelektrischen Mess- und Abtastsystems symmetrisch zu einer ortsfesten Achse dieses systems erzeugt.
Zur Bildsignalgewinnung werden zwei, durch einen auf der ortsfesten Achse liegenden Mittelsteg getrennte Bildausschnitte benutzt, die mit elektronischen oder mechanischen Mitteln erzeugt werden. Es entsteht so ein Zweistrahlverfahren. Die Bildabtastung erfolgt mittels einer Fernsehkameraröhre oder beweglicher Schlitzträger, wobei die beiden Bildausschnitte durch Kanalumschaltung abwechselnd zur Bildsignalerzeugung benutzt werden.
Ein Rechenwerk verarbeitet die Bildsignale und erzeugt Steuersignale für Stellglieder zur Justierung der beiden Gegenstände (1, 2).摘要翻译： 它可以调整在半导体晶片和相对于光电测量的掩模和感测系统和所述两个物体在半导体结构的制造的分步投影光刻zueiander。 这是可能都根据其特征beeinflusten光流和通过其结构的高精确度，另外，下任选使用当前可用的不同对准标记的两个对象的最快的可能的调整。 通过光学成像系统（10，11，12），8）的两个物体（1，2）中的光电测量和扫描对称有关此系统的固定轴线的扫描平面产生的对准标记4，5，7的图像的装置。 所述的图像信号获得两个，通过静止在固定轴中心Web图像部分被分开使用通过电子或机械装置产生。 这产生了双光束方法。 图像扫描是由电视摄像机管或柔性槽的载体，其中，所述两个图像部分通过通道交替地切换该图像信号生成中使用的装置进行。 算术单元处理的图像信号，并产生控制信号，用于致动器用于调节所述两个物体（1，2）。
-
9.发明公开Elektrostatisches Austastsystem für einen sich in einer Ebene bewegenden oder viele in einer Ebene angeordnete statische Korpuskularstrahlen 失效对于在一个平面或在平面内移动的静电消隐系统布置许多静态红细胞。
公开(公告)号：EP0043351A2
公开(公告)日：1982-01-06
申请号：EP81810263.4
申请日：1981-06-26
CPC分类号： G21K1/087 , B23K15/0013 , H01J37/045 , H01J37/1477
摘要： Ein elektrostatisches Ablenksystem für Korpuskularstrahlen, bei dem einander gegenüberliegende Elektroden (5,6) mit einstellbaren Potentialen zur Ablenkung benutzt werden. Zur Erhöhung der Produktivität von Korpuskularstrahlgeräten besteht die Aufgabe, einen sich bewegenden' Korpuskularstrahl über seinen gesamten Schwenkbereich oder viele nebeneinanderliegende statische Korpuskularstrahlen gleichzeitig zu steuern. Das wird dadurch erreicht, daß eine Vielzahl von Elektroden (5,6) auf mindestens einem Paar einander gegenüberliegender, im wesentlichen gleichgerichteter Flächen (3,4) jeweils in einer Reihe nebeneinander liegend angeordnet sind. Jede Elektrode wenigstens einer der beiden Flächen eines Paares weist eine eigene Potentialzuführung (15, 16) auf. Die dem Korpuskularstrahl zugewandten Flächenteile zwischen den Elektroden sind elektrisch leitend.
摘要翻译： 为微粒束静电偏转系统在相对的电极（5,6）具有可调节的电位的偏转被使用。 为了增加Korpuskularstrahlgeräten的生产率，该对象是运动粒子射线在其整个摆动范围或许多相邻的静态红细胞同时控制。 这是在该至少一个对相对取得的多个电极（5,6），大致相同的方向朝向（3,4）彼此相邻被布置在一行中的每个情况。 一对的两个表面中的至少一个的每个电极具有其自身的电位供给（15,16）。 面对所述电极之间的粒子束表面部分侧是导电的。
-
公开(公告)号：EP0027100B1
公开(公告)日：1985-03-13
申请号：EP80810305.5
申请日：1980-10-01
发明人： Feist, Wieland, Dr.
IPC分类号： G01C1/06
CPC分类号： G01C1/06
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
13 条记录 (耗时 0.014 秒)
