发明授权
- 专利标题： Vorrichtung zur Herstelllung eines Einkristalls
- 专利标题（英）： Apparatus for manufacturing a single crystal
- 专利标题（中）： 制造装置的单晶
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申请号： EP96101379.4申请日： 1996-02-01
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公开(公告)号： EP0725169B1公开(公告)日： 1998-11-25
- 发明人: von Ammon, Wilfried, Dr. , Dornberger, Erich , Weidner, Herbert , Pardubitzki, Alfred
- 申请人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
- 申请人地址： Johannes-Hess-Strasse 24 84489 Burghausen DE
- 专利权人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： Johannes-Hess-Strasse 24 84489 Burghausen DE
- 代理机构： Rimböck, Karl-Heinz, Dr.
- 优先权： DE19503357 19950202
- 主分类号： C30B15/14
- IPC分类号： C30B15/14
公开/授权文献
- EP0725169A1 Vorrichtung zur Herstelllung eines Einkristalls 公开/授权日：1996-08-07
信息查询
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