发明授权
- 专利标题： Alignment apparatus and method
- 专利标题（中）： 定位仪和程序
-
申请号： EP96302524.2申请日： 1996-04-10
-
公开(公告)号： EP0737844B1公开(公告)日： 2003-07-02
- 发明人: Sekiguchi, Hiroyuki, c/o Canon K.K.
- 申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 3-30-2 Shimomaruko Ohta-ku Tokyo 146 JP
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 3-30-2 Shimomaruko Ohta-ku Tokyo 146 JP
- 代理机构： Beresford, Keith Denis Lewis
- 优先权： JP10918395 19950411
- 主分类号： G01B11/00
- IPC分类号： G01B11/00 ; G05B19/19 ; G05D3/14
公开/授权文献
- EP0737844A3 Alignment apparatus and method 公开/授权日：1997-08-06
信息查询
