发明公开
EP0762491A2 Electrostatic chuck member and a method of producing the same
失效
Elektrostatische Haltevorrichtung und Herstellungsverfahren derselben
- 专利标题： Electrostatic chuck member and a method of producing the same
- 专利标题（中）： Elektrostatische Haltevorrichtung und Herstellungsverfahren derselben
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申请号： EP96306130.4申请日： 1996-08-22
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公开(公告)号： EP0762491A2公开(公告)日： 1997-03-12
- 发明人: Harada, Yoshio , Takeuchi, Junichi
- 申请人： TOCALO CO. LTD.
- 申请人地址： 13-4, Fukae-Kitamachi 4-chome, Higashinada-ku Kobe-shi, Hyogo JP
- 专利权人： TOCALO CO. LTD.
- 当前专利权人： TOCALO CO. LTD.
- 当前专利权人地址： 13-4, Fukae-Kitamachi 4-chome, Higashinada-ku Kobe-shi, Hyogo JP
- 代理机构： Giles, Ashley Simon
- 优先权： JP223149/95 19950831
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; B23Q3/15
摘要：
An electrostatic chuck member comprises a metal substrate, an undercoat of a metallic spray-coated layer and a topcoat of Al 2 O 3 ·TiO 2 based spray-coated layer containing a Ti n O 2n-1 (n=1-9) type compound, and has a large volume resistivity and a less scattering thereof and a stable quality.
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