Differenzdrucksensor
摘要:
Ein Differenzdrucksensor weist zwei Membrane (5; 6) auf, die entlang einer vorbestimmten Achse (7) auslenkbar sind. Die Auslenkung wenigstens einer der Membranen (5; 6) ist proportional zur Druckdifferenz p 1 - p 2 . Zur Detektion der Auslenkung der Membranen (5; 6) sind zwei Spulen (8; 9) vorgesehen. Bei einer Änderung der Druckdifferenz p 1 - p 2 bewegen sich die beiden Membranen (5; 6) in entgegengesetzter Richtung. Eine Änderung der Lage des Druckdifferenzsensors bzw. der Temperatur kann dazu führen, dass sich die Membranen (5; 6) unter dem Einfluss der Gravitation bzw. der Temperatur leicht deformieren. Dabei ändert sich der Abstand x 1 bzw. x 2 zwischen den Membranen (5; 6) und den Spulen (8; 9) in gleicher Weise, so dass die Differenzdruckmessung nicht beeinflusst wird.
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