发明授权
- 专利标题： Process for recovering substrates
- 专利标题（中）： 过程用于衬底的回收
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申请号： EP96115840.9申请日： 1996-10-02
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公开(公告)号： EP0774776B1公开(公告)日： 2003-04-23
- 发明人: Takada, Satoru , Inoue, Hidetoshi , Hara, Yoshihiro
- 申请人： KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO also known as Kobe Steel Ltd. , Kobe Precision Inc.
- 申请人地址： 3-18, Wakinohama-cho 1 chome, Chuo-ku Kobe 651 JP
- 专利权人： KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO also known as Kobe Steel Ltd.,Kobe Precision Inc.
- 当前专利权人： KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO also known as Kobe Steel Ltd.,Kobe Precision Inc.
- 当前专利权人地址： 3-18, Wakinohama-cho 1 chome, Chuo-ku Kobe 651 JP
- 代理机构： Müller-Boré & Partner Patentanwälte
- 优先权： US538265 19951003
- 主分类号： H01L21/30
- IPC分类号： H01L21/30 ; H01L21/302 ; H01L21/304
公开/授权文献
- EP0774776A3 Process for recovering substrates 公开/授权日：1998-03-25
信息查询
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