发明授权
- 专利标题： Microwave excitation plasma processing apparatus
- 专利标题（中）： 使用微波激发等离子体处理装置
-
申请号： EP96110433.8申请日： 1996-06-27
-
公开(公告)号： EP0777257B1公开(公告)日： 1999-08-25
- 发明人: Yamauchi, Takeshi, c/o Int. Prop. Div. K.K.Toshiba , Aoki, Katsuaki, c/o Int. Prop. Div., K.K. Toshiba
- 申请人： KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 申请人地址： 72, Horikawa-cho, Saiwai-ku Kawasaki-shi, Kanagawa-ken 210-8572 JP
- 专利权人： KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 当前专利权人： KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 当前专利权人地址： 72, Horikawa-cho, Saiwai-ku Kawasaki-shi, Kanagawa-ken 210-8572 JP
- 代理机构： Henkel, Feiler, Hänzel
- 优先权： JP28168595 19951030; JP30336395 19951030
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
公开/授权文献
- EP0777257A1 Microwave excitation plasma processing apparatus 公开/授权日：1997-06-04
信息查询
