发明授权
- 专利标题： Apparatus for transferring a substantially circular article
- 专利标题（中）： 装置用于传输主要是圆形的物体
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申请号： EP96203122.5申请日： 1996-11-07
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公开(公告)号： EP0778610B1公开(公告)日： 2002-07-17
- 发明人: Zinger, Jan , Haanstra, Kornelius , Schimmel, Rudi
- 申请人： ASM INTERNATIONAL N.V.
- 申请人地址： P.O. Box 100 3720 AC Bilthoven NL
- 专利权人： ASM INTERNATIONAL N.V.
- 当前专利权人： ASM INTERNATIONAL N.V.
- 当前专利权人地址： P.O. Box 100 3720 AC Bilthoven NL
- 代理机构： de Bruijn, Leendert C.
- 优先权： US569303 19951208
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00
公开/授权文献
- EP0778610A1 Apparatus for transferring a substantially circular article 公开/授权日：1997-06-11
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