发明授权
- 专利标题： Cantilever unit and atomic force microscope, magnetic force microscope, reproducing apparatus and information processing apparatus using the cantilever unit
- 专利标题（中）： 悬臂单元和原子力显微镜，磁力显微镜，以及再现和信息处理装置，以便
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申请号： EP97200263.8申请日： 1992-04-09
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公开(公告)号： EP0791803B1公开(公告)日： 2002-01-09
- 发明人: Kuroda, Ryo , Hatanaka, Katsunori , Miyazaki, Toshihiko , Yagi, Takayuki , Kawase, Toshimitsu , Shinjo, Katsuhiko
- 申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 代理机构： Beresford, Keith Denis Lewis
- 优先权： JP10363491 19910410
- 主分类号： G01B7/34
- IPC分类号： G01B7/34 ; G01R33/038 ; G11B9/00
公开/授权文献
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