发明公开
EP0799439A1 POSITIONING DEVICE WITH A FORCE ACTUATOR SYSTEM FOR COMPENSATING CENTRE-OF-GRAVITY DISPLACEMENTS
失效
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- 专利标题： POSITIONING DEVICE WITH A FORCE ACTUATOR SYSTEM FOR COMPENSATING CENTRE-OF-GRAVITY DISPLACEMENTS
- 专利标题（中）： ÜEN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN EN
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申请号： EP96912187.0申请日： 1996-05-17
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公开(公告)号： EP0799439A1公开(公告)日： 1997-10-08
- 发明人: VAN KIMMENADE, Johannes, Mathijs, Maria , VAN DER PAL, Adrianus , VAN EIJK, Jan
- 申请人： PHILIPS ELECTRONICS N.V. , ASM Lithography
- 申请人地址： Groenewoudseweg 1 5621 BA Eindhoven NL
- 专利权人： PHILIPS ELECTRONICS N.V.,ASM Lithography
- 当前专利权人： PHILIPS ELECTRONICS N.V.,ASM Lithography
- 当前专利权人地址： Groenewoudseweg 1 5621 BA Eindhoven NL
- 代理机构： Wolfs, Marc Johannes Maria, et al
- 优先权： EP19950201410 19950530
- 国际公布： WO1996038766 19961205
- 主分类号： G03F9
- IPC分类号： G03F9 ; G03F7 ; H01L21
摘要：
The positioning mechanism has a force actuator system controlled by an electric controller, and which exerts a compensation force on the frame (45) during operation. The force has a mechanical moment about a reference point of the frame. This moment has a value equal to a value of a mechanical moment of a force of gravity acting on the object table (5) about the reference point, and a direction opposed to a direction of the mechanical moment of the force of gravity.
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