发明授权
EP0801318B1 Probe, manufacturing method therefore and scanning probe microscope
失效
扫描装置，扫描探针显微镜及其制造方法
- 专利标题： Probe, manufacturing method therefore and scanning probe microscope
- 专利标题（中）： 扫描装置，扫描探针显微镜及其制造方法
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申请号： EP97103779.1申请日： 1997-03-06
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公开(公告)号： EP0801318B1公开(公告)日： 2006-08-09
- 发明人: Muramatsu, Hiroshi , Yamamoto, Noritaka , Chiba, Norio , Nakajima, Kunio
- 申请人： SII NanoTechnology Inc.
- 申请人地址： 8 Nakase 1-chome, Mihama-ku Chiba-shi, Chiba JP
- 专利权人： SII NanoTechnology Inc.
- 当前专利权人： SII NanoTechnology Inc.
- 当前专利权人地址： 8 Nakase 1-chome, Mihama-ku Chiba-shi, Chiba JP
- 代理机构： Neugebauer, Jürgen
- 优先权： JP8689496 19960409; JP10291896 19960424; JP20730696 19960806; JP34006896 19961219
- 主分类号： G02B21/00
- IPC分类号： G02B21/00 ; G01B7/34 ; G02B6/26
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