发明授权
- 专利标题： Sensor circuit
- 专利标题（中）： 传感器电路
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申请号： EP97110428.6申请日： 1997-06-25
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公开(公告)号： EP0816805B1公开(公告)日： 2004-03-03
- 发明人: Shou, Guoliang, c/o Yozan Inc. , Motohashi, Kazunori, c/o Yozan Inc. , Lin, Shengmin, c/o Yozan Inc. , Yamamoto, Makoto, c/o Yozan Inc. , Matsumoto, Toshiyuki, , Harada, Muneo, , Ooasa, Takahiko, , Hirota, Yoshihiro
- 申请人： Tokyo Electron Ltd.
- 申请人地址： TBS Broadcast Center 3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo 107-8481 JP
- 专利权人： Tokyo Electron Ltd.
- 当前专利权人： Tokyo Electron Ltd.
- 当前专利权人地址： TBS Broadcast Center 3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo 107-8481 JP
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
- 优先权： JP18558496 19960626
- 主分类号： G01D5/241
- IPC分类号： G01D5/241 ; G01D5/16
公开/授权文献
- EP0816805A3 Sensor circuit 公开/授权日：1998-03-18
信息查询
IPC分类:
