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1.

发明授权
Sensor circuit 失效
标题翻译：传感器电路

公开(公告)号：EP0816805B1

公开(公告)日：2004-03-03

申请号：EP97110428.6

申请日：1997-06-25

申请人： Tokyo Electron Ltd.

发明人： Shou, Guoliang, c/o Yozan Inc. , Motohashi, Kazunori, c/o Yozan Inc. , Lin, Shengmin, c/o Yozan Inc. , Yamamoto, Makoto, c/o Yozan Inc. , Matsumoto, Toshiyuki, , Harada, Muneo, , Ooasa, Takahiko, , Hirota, Yoshihiro

IPC分类号： G01D5/241 , G01D5/16

CPC分类号： G01D5/24 , G01D5/16 , G01D5/2417