发明授权
- 专利标题： Polishing apparatus
-
申请号： EP98106067.6申请日： 1998-04-02
-
公开(公告)号： EP0868975B1公开(公告)日： 2004-10-20
- 发明人: Numoto, Minoru , Inaba, Takao , Sakai, Kenji , Terashita, Hisashi , Satoh, Manabu
- 申请人： TOKYO SEIMITSU CO.,LTD.
- 申请人地址： 7-1, Shimorenjaku 9-chome Mitaka-shi Tokyo JP
- 专利权人： TOKYO SEIMITSU CO.,LTD.
- 当前专利权人： TOKYO SEIMITSU CO.,LTD.
- 当前专利权人地址： 7-1, Shimorenjaku 9-chome Mitaka-shi Tokyo JP
- 代理机构： Hering, Hartmut, Dipl.-Ing.
- 优先权： JP8681497 19970404; JP13892597 19970528
- 主分类号： B24B37/04
- IPC分类号： B24B37/04
公开/授权文献
- EP0868975A1 Polishing apparatus 公开/授权日：1998-10-07
信息查询
