发明授权
EP0963015B1 Laser chamber incorporating ceramic insulators coated with dielectric material
有权
激光室与陶瓷绝缘体，其被涂覆有电介质材料
- 专利标题： Laser chamber incorporating ceramic insulators coated with dielectric material
- 专利标题（中）： 激光室与陶瓷绝缘体，其被涂覆有电介质材料
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申请号： EP99110581.8申请日： 1999-06-01
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公开(公告)号： EP0963015B1公开(公告)日： 2003-11-05
- 发明人: Ishihara, Toshihiko , Morton, Richard G.
- 申请人： Cymer, Inc.
- 申请人地址： 16750 Via del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 US
- 专利权人： Cymer, Inc.
- 当前专利权人： Cymer, Inc.
- 当前专利权人地址： 16750 Via del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 US
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
- 优先权： US89330 19980602
- 主分类号： H01S3/03
- IPC分类号： H01S3/03
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