发明公开
- 专利标题： STANDARD ZUR KALIBRIERUNG UND ÜBERPRÜFUNG EINES OBERFLÄCHENINSPEKTIONS-GERÄTES UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES STANDARDS
- 专利标题（英）： Standard for calibrating and checking a surface inspection device and method for the production thereof
- 专利标题（中）： 标准校准和表面检查装置的验证和制造方法标准
-
申请号： EP98913674.0申请日： 1998-03-06
-
公开(公告)号： EP0965036A1公开(公告)日： 1999-12-22
- 发明人: SCHMOLKE, Rüdiger , GERBER, Hans-Adolf , GRÄF, Dieter , KERSCHREITER, Robert , LUGER, Anton , SUHREN, Monique
- 申请人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
- 申请人地址： Johannes-Hess-Strasse 24 84489 Burghausen DE
- 专利权人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： Johannes-Hess-Strasse 24 84489 Burghausen DE
- 代理机构： Rimböck, Karl-Heinz, Dr., et al
- 优先权： DE19971009255 19970306
- 国际公布： WO1998039638 19980911
- 主分类号： G01B11
- IPC分类号： G01B11 ; G01N21 ; H01L21
摘要：
The invention relates to a reproducible standard for calibrating and checking the bright-field channel of a surface inspection device used for examining the flat surface of a sample and to a method for producing said standard whereby a microstructure is produced on a surface of a substrate provided as a standard, characterized in that the microstructure is smoothed out.
信息查询
