发明授权
- 专利标题： Teilchenstrahlgerät mit Sekundärelektronen-Detektor
- 专利标题（英）： Particle beam apparatus with secondary electron detector
- 专利标题（中）： 粒子束与二次电子检测器
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申请号： EP99109886.4申请日： 1999-05-20
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公开(公告)号： EP0969495B1公开(公告)日： 2012-04-18
- 发明人: Weimer, Eugen, Dr. , Drexel, Volker
- 申请人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 申请人地址： Carl-Zeiss-Strasse 56 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Strasse 56 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Gnatzig, Klaus
- 优先权： DE19828476 19980626
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244 ; H01J37/28
公开/授权文献
- EP0969495A3 Teilchenstrahlgerät mit Sekundärelektronen-Detektor 公开/授权日：2001-08-01
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