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    Elektronenstrahlgerät und Detektoranordnung
    3.
    发明公开
    Elektronenstrahlgerät und Detektoranordnung 有权
    Elektronenstrahlgerätund Verfahren zum Betrieb dessen

    公开(公告)号：EP2463889A2

    公开(公告)日：2012-06-13

    申请号：EP12158480.9

    申请日：2004-01-07

    申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

    发明人： Steigerwald, Dr. Michael ,  Preikszas, Dirk ,  Drexel, Volker

    IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244

    CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlgerät (7) mit einem Strahlerzeuger (8) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, einer Objektivlinse (13) zur Fokussierung des Elektronenstrahls auf einem Objekt (18) und mindestens einem Detektor (19, 21) zur Detektion von am Objekt (18) gestreuten oder vom Objekt (18) emittierten Elektronen. Des weiteren betrifft die Erfindung eine Detektoranordnung (19, 21) zur Detektion von Elektronen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Elektronenstrahlgerät mit einer Detektoranordnung anzugeben, mit der eine Selektion insbesondere nach Rückstreu- und Sekundärelektronen einfach möglich ist. Gleichzeitig sollen mittels der Detektoranordnung möglichst viele Elektronen detektiert werden. Hierzu weist das Elektronenstrahlgerät (7) mindestens eine einstellbare Blende (20) auf, die dem Detektor (21) zugeordnet ist. Die erfindungsgemäße Detektoranordnung weist einen Detektor auf, an dem ein Reflektor zur Reflexion von Elektronen auf den Detektor angeordnet ist.

    摘要翻译： 电子束装置（7）具有用于产生电子束的光束发生器（8）和用于将产生的电子束聚焦在物体（18）上的物镜（13）。 检测器（19,21）检测从物体散射的电子。 可调节隔膜（20）位于更靠近检测器（21）的位置。 从物体散射的电子通过可调光阑的孔径被传送到探测器（21）。

    Elektronenstrahlgerät und Detektoranordnung
    4.
    发明公开
    Elektronenstrahlgerät und Detektoranordnung 有权
    电子设备和检测器组件

    公开(公告)号：EP1439565A3

    公开(公告)日：2009-07-22

    申请号：EP04000137.2

    申请日：2004-01-07

    申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

    发明人： Steigerwald, Michael, Dr. ,  Preikszas,Dirk, Dr. ,  Drexel, Volker

    IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28

    CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlgerät (7) mit einem Strahlerzeuger (8) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, einer Objektivlinse (13) zur Fokussierung des Elektronenstrahls auf einem Objekt (18) und mindestens einem Detektor (19,21) zur Detektion von am Objekt (18) gestreuten oder vom Objekt (18) emittierten Elektronen. Des weiteren betrifft die Erfindung eine Detektoranordnung (19,21) zur Detektion von Elektronen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Elektronenstrahlgerät mit einer Detektoranordnung anzugeben, mit der eine Selektion insbesondere nach Rückstreu- und Sekundärelektronen einfach möglich ist. Gleichzeitig sollen mittels der Detektoranordnung möglichst viele Elektronen detektiert werden. Hierzu weist das Elektronenstrahlgerät (7) mindestens eine einstellbare Blende (20) auf, die dem Detektor (19,21) zugeordnet ist. Die erfindungsgemäße Detektoranordnung weist einen Detektor auf, an dem ein Reflektor zur Reflexion von Elektronen auf den Detektor angeordnet ist.

    Elektronenstrahlgerät und Detektoranordnung
    5.
    发明公开
    Elektronenstrahlgerät und Detektoranordnung 有权
    电子束装置和检测器装置

    公开(公告)号：EP2463889A3

    公开(公告)日：2012-08-29

    申请号：EP12158480.9

    申请日：2004-01-07

    申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

    发明人： Steigerwald, Dr. Michael ,  Preikszas, Dirk ,  Drexel, Volker

    IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244

    CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlgerät (7) mit einem Strahlerzeuger (8) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, einer Objektivlinse (13) zur Fokussierung des Elektronenstrahls auf einem Objekt (18) und mindestens einem Detektor (19, 21) zur Detektion von am Objekt (18) gestreuten oder vom Objekt (18) emittierten Elektronen. Des weiteren betrifft die Erfindung eine Detektoranordnung (19, 21) zur Detektion von Elektronen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Elektronenstrahlgerät mit einer Detektoranordnung anzugeben, mit der eine Selektion insbesondere nach Rückstreu- und Sekundärelektronen einfach möglich ist. Gleichzeitig sollen mittels der Detektoranordnung möglichst viele Elektronen detektiert werden. Hierzu weist das Elektronenstrahlgerät (7) mindestens eine einstellbare Blende (20) auf, die dem Detektor (21) zugeordnet ist. Die erfindungsgemäße Detektoranordnung weist einen Detektor auf, an dem ein Reflektor zur Reflexion von Elektronen auf den Detektor angeordnet ist.

    摘要翻译： 本发明涉及一种具有一个束发生器（8），用于聚焦，用于检测所述对象的对象（18）和至少一个检测器（19，21）上的电子束产生电子束，物镜（13）的电子束装置（7）（18 ）由物体（18）散射或发射电子。 此外，本发明涉及用于检测电子的检测器装置（19,21）。 本发明的目的在于提供一种具有检测器阵列的电子束装置，特别是在后向散射之后进行选择，并且二次电子很容易实现。 同时，尽可能多的电子将通过检测器装置来检测。 为此，电子束装置（7）具有至少一个分配给检测器（21）的可调膜片（20）。 根据本发明的检测器装置具有检测器，检测器上布置有用于电子反射的反射器。