发明授权
- 专利标题： Apparatus for the integrated processing of defect images
- 专利标题（中）： 用于缺陷图像的综合处理的装置
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申请号： EP99304142.5申请日： 1999-05-27
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公开(公告)号： EP0974831B1公开(公告)日： 2005-01-12
- 发明人: Fujita, Minoru, c/o Toshiba Engineering Corp.
- 申请人： TOSHIBA ENGINEERING CORPORATION
- 申请人地址： 66-2, Horikawa-cho, Saiwai-ku Kawasaki-shi, Kanagawa-ken 210 JP
- 专利权人： TOSHIBA ENGINEERING CORPORATION
- 当前专利权人： TOSHIBA ENGINEERING CORPORATION
- 当前专利权人地址： 66-2, Horikawa-cho, Saiwai-ku Kawasaki-shi, Kanagawa-ken 210 JP
- 代理机构： Jones, David Colin
- 优先权： JP20525398 19980721
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88 ; G06T7/00
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