发明授权
- 专利标题： METHOD OF MANUFACTURING A POLYMERIC POLISHING PAD HAVING PHOTOLITHOGRAPHICALLY INDUCED SURFACE PATTERN
- 专利标题（中）： 法生产的光刻EYED塑料抛光垫
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申请号： EP98903401.2申请日： 1998-01-12
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公开(公告)号： EP0984846B1公开(公告)日： 2004-11-24
- 发明人: COOK, Lee, Melbourne , JAMES, David, B. , CHECHIK, Nina, G. , BUDINGER, William, D.
- 申请人： RODEL, INC.
- 申请人地址： 451 Bellevue Road Newark Delaware 19713 US
- 专利权人： RODEL, INC.
- 当前专利权人： RODEL, INC.
- 当前专利权人地址： 451 Bellevue Road Newark Delaware 19713 US
- 代理机构： Carpmaels & Ransford
- 优先权： US34492P 19970113
- 国际公布： WO1998030356 19980716
- 主分类号： B24D3/00
- IPC分类号： B24D3/00
摘要：
An innovative method of manufacturing polishing pads using photo-curing polymers (14) and photolithography. The photolithography enables the creation of useful surface patterns not possible with conventional machining techniques and enables the use of pad materials otherwise too soft to pattern by conventional machining techniques.
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