发明公开
- 专利标题： Verfahren und Vorrichtung zur elektrischen oder elektrochemischen Manipulation von Proben
- 专利标题（英）： Method and device for electrical or electrochemical treatment of workpieces
- 专利标题（中）： 用于样品的电或电化学处理的方法和装置
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申请号： EP99115278.6申请日： 1999-08-02
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公开(公告)号： EP0987077A2公开(公告)日： 2000-03-22
- 发明人: Marso, Michael, Dr. , Arens-Fischer, Rüdiger , Lüth, Hans, Prof. Dr.
- 申请人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 申请人地址： Wilhelm-Johnen-Strasse 52425 Jülich DE
- 专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 当前专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
- 当前专利权人地址： Wilhelm-Johnen-Strasse 52425 Jülich DE
- 代理机构： Möbus, Steffen
- 优先权： DE19837126 19980817
- 主分类号： B23H3/02
- IPC分类号： B23H3/02
摘要：
Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur gleichzeitigen elektrischen oder elektrochemischen Manipulation mehrerer Materialproben (4.1 - 4.4) beschrieben. Bei dieser Manipulation handelt es sich beispielsweise um elektrochemisches Ätzen Elektropolieren Galvanisieren und insbesondere um eine anodische Ätzung zur Herstellung von porösem Silizium. Die zu behandelnden Materialproben (4.1 - 4.4) werden dabei in ein gemeinsames Behandlungsbecken (1) gebracht und individuell mit steuerbaren Stromquellen (7.1 - 7.4) verbunden, so daß eine gleichzeitige und doch individuelle Bearbeitung der einzelnen Proben möglich ist. Das Verfahren und die Vorrichtung können auch auf eine großflächige Materialprobe angewandt werden, die über verschiedene Kontaktstellen mit individuell steuerbaren Stromquellen verbunden ist. Dadurch ist eine unterschiedliche Bearbeitung einzelner Bereiche der großflächigen Materialprobe möglich.
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