发明公开
EP1032040A3 Metal wire fuse structure with cavity
审中-公开
Sicherungsstruktur aus Metalldraht mit einem Hohlraum
- 专利标题： Metal wire fuse structure with cavity
- 专利标题（中）： Sicherungsstruktur aus Metalldraht mit einem Hohlraum
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申请号： EP00103742.3申请日： 2000-02-23
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公开(公告)号： EP1032040A3公开(公告)日： 2001-11-21
- 发明人: Brintzinger, Axel , Kiewra, Edward W. , Narayan, Chandrasekhar , Radens, Carl J.
- 申请人： International Business Machines Corporation , Infineon Technologies AG
- 申请人地址： New Orchard Road Armonk, NY 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation,Infineon Technologies AG
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation,Infineon Technologies AG
- 当前专利权人地址： New Orchard Road Armonk, NY 10504 US
- 代理机构： Teufel, Fritz, Dipl.-Phys.
- 优先权： US258563 19990226
- 主分类号： H01L23/525
- IPC分类号： H01L23/525
摘要：
An integrated circuit has primary devices and redundant devices being selective substituted for the primary devices through at least one fuse. The fuse includes a first layer having at least one fuse link region, a second layer over the first layer and cavities in the second layer above the fuse link region.
公开/授权文献
- EP1032040A2 Metal wire fuse structure with cavity 公开/授权日：2000-08-30
信息查询
IPC分类:
