发明授权
- 专利标题： Discharge-pumped excimer laser device
- 专利标题（中）： 放电泵浦准分子激光
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申请号： EP00111269.7申请日： 2000-05-25
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公开(公告)号： EP1056171B1公开(公告)日： 2004-08-25
- 发明人: Sekiguchi, Shinichi , Shinozaki, Hiroyuki , Barada, Toshimitsu , Nakazawa, Toshiharu
- 申请人： EBARA CORPORATION
- 申请人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo JP
- 专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人： EBARA CORPORATION
- 当前专利权人地址： 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo JP
- 代理机构： Wagner, Karl H., Dipl.-Ing.
- 优先权： JP14516899 19990525; JP20185199 19990715
- 主分类号： H01S3/225
- IPC分类号： H01S3/225 ; H01S3/03
公开/授权文献
- EP1056171B2 Discharge-pumped excimer laser device 公开/授权日：2008-06-18
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