发明公开
EP1108995A3 Vorrichtung und Verfahren zur Qualitätskontrolle eines Photosensors
审中-公开
的装置和方法的光传感器的质量控制
- 专利标题: Vorrichtung und Verfahren zur Qualitätskontrolle eines Photosensors
- 专利标题(英): Device and procedure for the quality control of a photosensor
- 专利标题(中): 的装置和方法的光传感器的质量控制
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申请号: EP00126241.9申请日: 2000-12-01
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公开(公告)号: EP1108995A3公开(公告)日: 2004-01-14
- 发明人: Kuderer, Hubert
- 申请人: Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation)
- 申请人地址: 395 Page Mill Road Palo Alto, CA 94303 US
- 专利权人: Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation)
- 当前专利权人: Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation)
- 当前专利权人地址: 395 Page Mill Road Palo Alto, CA 94303 US
- 代理机构: Barth, Daniel Mathias
- 优先权: DE19960910 19991217
- 主分类号: G01J3/28
- IPC分类号: G01J3/28 ; G01J1/08 ; G01J1/16 ; G01R31/265
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Qualitätskontrolle eines Photosensors 21, insbesondere eines Photodiodenarrays, dessen Ausgangssignal von der Intensität eines mit elektromagnetischen Wellen gebildeten Eingangssignals abhängt. Der zu testende Photosensor 21 wird mit die Eingangssignale ausbildenden Stimuliersignalen unter Variation der Stimuliersignalintensität der Stimuliersignale beaufschlagt. Dabei werden die zugehörigen Ausgangssignale des zu testenden Photosensors 21 wird gemessen und zu Auswertungszwecken erfaßt. Der Photosensor 21 wird vorzugsweise mit wenigstens zwei unabhängig voneinander steuerbaren, sich überlagernden individuellen Stimuliersignalen 41, 42, 43, 44 individueller Stimuliersignalintensität beaufschlagt. Die Einstellung der unterschiedlichen Stimuliersignalintensität der individuellen Stimuliersignale 41, 42, 43, 44 erfolgt mit Hilfe einer mit der Stimuliersignalquelle 31, 32, 33, 34 gekoppelten Kontrolleinheit 55 und die Messung und Erfassung der Ausgangssignale des Photosensors erfolgt mit Hilfe einer Meßdatenerfassungseinheit 65.
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