发明授权
- 专利标题： Apparatus for separating a composite member using fluid jet
- 专利标题（中）： 装置用于与液体射流分离复合部件
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申请号： EP01202222.4申请日： 1998-03-26
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公开(公告)号： EP1134790B1公开(公告)日： 2003-11-19
- 发明人: Ohmi, Kazuaki , Yonehara, Takao , Sakaguchi, Kiyofumi , Yanagita, Kazutaka
- 申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 代理机构： Beresford, Keith Denis Lewis
- 优先权： JP7549897 19970327; JP13847797 19970528
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00
公开/授权文献
- EP1134790A3 Apparatus for separating a composite member using fluid jet 公开/授权日：2001-12-19
信息查询
IPC分类:
