发明公开
- 专利标题： SYSTEM ZUR PULSATIONSFREIEN FÖRDERUNG VON FLÜSSIGKEITEN
- 专利标题（英）： System for conveying liquids without pulsing
- 专利标题（中）： SYSTEM FOR无脉动输送液体的
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申请号： EP99957334.8申请日： 1999-12-02
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公开(公告)号： EP1141611A1公开(公告)日： 2001-10-10
- 发明人: DUSEMUND, Claus , FREISSLER, Klaus , JAMMER, Wilfried , POTH, Michael , DIX, Alberto , TEMPEL, Eberhard
- 申请人： MERCK PATENT GmbH
- 申请人地址： Frankfurter Strasse 250 64293 Darmstadt DE
- 专利权人： MERCK PATENT GmbH
- 当前专利权人： MERCK PATENT GmbH
- 当前专利权人地址： Frankfurter Strasse 250 64293 Darmstadt DE
- 优先权： DE19857593 19981214
- 国际公布： WO0036329 20000622
- 主分类号： F16L55/04
- IPC分类号： F16L55/04 ; F16L55/05
摘要：
The invention relates to a pressurised system for conveying liquids without pulsing. The inventive system can be used for highly pure liquid chemicals in the semiconductor industry.
公开/授权文献
- EP1141611B1 SYSTEM ZUR PULSATIONSFREIEN FÖRDERUNG VON FLÜSSIGKEITEN 公开/授权日：2003-11-05
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