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EP1221492A2 Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung 有权
容器由其制备的轻金属合金和工艺的

  • 专利标题： Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung
  • 专利标题（英）： Light alloy container and method for its production
  • 专利标题（中）： 容器由其制备的轻金属合金和工艺的
  • 申请号： EP01811212.8
    申请日： 2001-12-12
  • 公开(公告)号： EP1221492A2
    公开(公告)日： 2002-07-10
  • 发明人: Hodel, Ulf , Gitter, Reinhold
  • 申请人： Alcan Technology & Management AG
  • 申请人地址： Badische Bahnhofstrasse 16 8212 Neuhausen am Rheinfall CH
  • 专利权人： Alcan Technology & Management AG
  • 当前专利权人： Alcan Technology & Management AG
  • 当前专利权人地址： Badische Bahnhofstrasse 16 8212 Neuhausen am Rheinfall CH
  • 优先权： DE10065264 20001229; DE10106999 20010215
  • 主分类号： C22C21/06
  • IPC分类号： C22C21/06
Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要：
Bei einem Behälter -- insbesondere einem Behälter (30) mit rohrartiger Behälterwandung (32) -- aus einer Leichtmetalllegierung zum Einsatz als Reaktionskammer in einem Bearbeitungsprozess für Wafer ist die -- vor allem auf dem Wege des Strangpressens geformte oder auf dem Wege des Ringwalzens hergestellte -- Behälterwandung (32) aus einem metallischen Werkstoff auf Aluminiumbasis mit einem Magnesiumgehalt zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% hergestellt; die Elemente Cu, Fe, Si sind nur in Anteilen unter 0,5 Gew.-% enthalten. Diese Behälterwandung (32) kann auch mit einer Bodenplatte (42) einstückig als Behälter (30) ausgeformt sein.
摘要（中）：

在容器中 - 特别是容器（30）与筒状容器（32） - 被用作在处理过程中反应室的晶片时，由轻金属合金的 - 主要产形通过挤出的方式，或者通过环轧的方式 - 由基于具有1.2和2.0重量％之间的镁含量的铝的金属材料的容器壁（32）; 元素Cu，铁，硅只在低于0.5的水平包含重量％。 此容器壁（32）可以被整体形成为容器（30）也具有一个底板（42）。

摘要（英）：

In a container - especially a container (30) with tubular container (32) - from a light metal alloy for use as a reaction chamber in a machining process for wafers is - especially in the way of extrusion molded or produced by way of the ring rolling - the container wall (32) having a magnesium content between 1.2 and 2.0 is made of a metallic material based on aluminum wt .-%; the elements Cu, Fe, Si contained wt .-% only at levels below 0.5. This container wall (32) can be integrally formed as a container (30) also having a base plate (42).

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