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    Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung
    1.
    发明公开
    Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung 有权
    容器由其制备的轻金属合金和工艺的

    公开(公告)号：EP1221492A2

    公开(公告)日：2002-07-10

    申请号：EP01811212.8

    申请日：2001-12-12

    申请人： Alcan Technology & Management AG

    发明人： Hodel, Ulf ,  Gitter, Reinhold

    IPC分类号： C22C21/06

    CPC分类号： H01L21/67063 ,  B21H1/06 ,  B21K21/00 ,  C22C21/06 ,  C22C21/08 ,  Y10S72/70 ,  Y10S220/917 ,  Y10T428/12 ,  Y10T428/12229 ,  Y10T428/12389 ,  Y10T428/12403 ,  Y10T428/13

    摘要： Bei einem Behälter -- insbesondere einem Behälter (30) mit rohrartiger Behälterwandung (32) -- aus einer Leichtmetalllegierung zum Einsatz als Reaktionskammer in einem Bearbeitungsprozess für Wafer ist die -- vor allem auf dem Wege des Strangpressens geformte oder auf dem Wege des Ringwalzens hergestellte -- Behälterwandung (32) aus einem metallischen Werkstoff auf Aluminiumbasis mit einem Magnesiumgehalt zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% hergestellt; die Elemente Cu, Fe, Si sind nur in Anteilen unter 0,5 Gew.-% enthalten. Diese Behälterwandung (32) kann auch mit einer Bodenplatte (42) einstückig als Behälter (30) ausgeformt sein.

    摘要翻译： 在容器中 - 特别是容器（30）与筒状容器（32） - 被用作在处理过程中反应室的晶片时，由轻金属合金的 - 主要产形通过挤出的方式，或者通过环轧的方式 - 由基于具有1.2和2.0重量％之间的镁含量的铝的金属材料的容器壁（32）; 元素Cu，铁，硅只在低于0.5的水平包含重量％。 此容器壁（32）可以被整体形成为容器（30）也具有一个底板（42）。

    Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung
    5.
    发明公开
    Behälter aus einer Leichtmetalllegierung und Verfahren zu seiner Herstellung 有权
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    公开(公告)号：EP1221492A3

    公开(公告)日：2002-08-28

    申请号：EP01811212.8

    申请日：2001-12-12

    申请人： Alcan Technology & Management AG

    发明人： Hodel, Ulf ,  Gitter, Reinhold

    IPC分类号： C22C21/06

    CPC分类号： H01L21/67063 ,  B21H1/06 ,  B21K21/00 ,  C22C21/06 ,  C22C21/08 ,  Y10S72/70 ,  Y10S220/917 ,  Y10T428/12 ,  Y10T428/12229 ,  Y10T428/12389 ,  Y10T428/12403 ,  Y10T428/13

    摘要： Bei einem Behälter -- insbesondere einem Behälter (30) mit rohrartiger Behälterwandung (32) -- aus einer Leichtmetalllegierung zum Einsatz als Reaktionskammer in einem Bearbeitungsprozess für Wafer ist die -- vor allem auf dem Wege des Strangpressens geformte oder auf dem Wege des Ringwalzens hergestellte -- Behälterwandung (32) aus einem metallischen Werkstoff auf Aluminiumbasis mit einem Magnesiumgehalt zwischen 1,2 und 2,0 Gew.-% hergestellt; die Elemente Cu, Fe, Si sind nur in Anteilen unter 0,5 Gew.-% enthalten. Diese Behälterwandung (32) kann auch mit einer Bodenplatte (42) einstückig als Behälter (30) ausgeformt sein.

    摘要翻译： 一种容器，特别是具有管状壁的容器，由用于制造晶片的工艺中的反应室的轻金属合金制成。 容器壁通过挤出或环轧制成，并且容器壁由镁含量在1.2和2.0重量％之间的金属铝基材料制成。 ％。 元素Cu，Fe，Si以小于0.5重量％的量存在。 ％。 该容器壁也可以成形为具有底板的容器。