发明授权
- 专利标题： A micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS)
- 专利标题（中）： 微机电光学机械系统（MOEMS）
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申请号： EP02252944.0申请日： 2002-04-25
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公开(公告)号： EP1255149B1公开(公告)日： 2013-10-16
- 发明人: Chen, Jingkuang , Sun, Decai , Kubby, Joel A.
- 申请人： Xerox Corporation
- 申请人地址： Xerox Square - 20 A, 100 Clinton Avenue South Rochester, New York 14644 US
- 专利权人： Xerox Corporation
- 当前专利权人： Xerox Corporation
- 当前专利权人地址： Xerox Square - 20 A, 100 Clinton Avenue South Rochester, New York 14644 US
- 代理机构： Skone James, Robert Edmund
- 优先权： US844574 20010430
- 主分类号： G02B26/02
- IPC分类号： G02B26/02 ; G02B6/42 ; G02B6/35
公开/授权文献
- EP1255149A3 A micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) 公开/授权日：2003-09-24
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