发明授权
- 专利标题： Manipulator für ein optisches oder teilchenoptisches Gerät
- 专利标题（英）： Manipulator for an optical or particle/optical device
- 专利标题（中）： 操纵器用于光学或粒子光学设备
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申请号： EP03002448.3申请日： 2003-02-05
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公开(公告)号： EP1351271B1公开(公告)日： 2008-04-02
- 发明人: Müller, Helmut , Tobias, Daniel
- 申请人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 申请人地址： Carl-Zeiss-Strasse 56 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Strasse 56 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Gnatzig, Klaus
- 优先权： DE10212807 20020322
- 主分类号： H01J37/20
- IPC分类号： H01J37/20 ; H01J37/26 ; G02B21/32
公开/授权文献
- EP1351271A1 Manipulator für ein optisches oder teilchenoptisches Gerät 公开/授权日：2003-10-08
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